講座題目：“中國芯“制造面臨挑戰(zhàn)和機會

主講人：吳漢明院士

時間：2020年12月14日15:30

地點：信息科學(xué)實驗樓202報告廳

主辦單位：信息與電子學(xué)院 校科協(xié)

主講人簡介：

吳漢明，中國工程院院士，浙江大學(xué)微納電子學(xué)院院長。芯創(chuàng)智（北京）微電子有限公司董事長。

吳漢明院士，1976年畢業(yè)于中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)；1987年畢業(yè)于中國科學(xué)院力學(xué)研究所，獲博士學(xué)位。曾在美國UC-Berkeley進行博士后研究，并先后入職Intel、中芯國際等公司作為技術(shù)骨干從事集成電路制造工藝研發(fā)，曾任中芯國際研發(fā)副總裁。

吳漢明院士長期工作在我國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈重要環(huán)節(jié)，并作出突出貢獻。主持、指導(dǎo)了包括國家重大專項的0.13微米至14納米七代芯片工藝研發(fā)，負責攻克了包括刻蝕等一系列關(guān)鍵工藝難點，工藝集成后實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。突破了長期以來我國高端芯片工藝完全依賴進口的制約，與世界水平差距明顯縮小。負責我國首臺刻蝕機研發(fā)項目的理論工作，并成功產(chǎn)業(yè)化。建立的非平衡低溫等離子體混合模型/整體模型成為工藝理論依據(jù)，并作為教案被世界著名大學(xué)公開發(fā)行的教科書采用。發(fā)表著作論文116篇。授權(quán)發(fā)明專利67項。曾獲得“北京學(xué)者”、“十佳全國優(yōu)秀科技工作者” 和“全國杰出專業(yè)技術(shù)人才”等榮譽。作為主要成員，三次獲國家科技二等獎，多次獲省部科技獎。